一、前期准备
1、停机断电降温
首先要停止设备运作并拔掉电源。耐心等待机身温度自然下降，直至达到安全可触碰的范围。
2、准备清洁用具与合适清洁剂
备好软毛刷、无绒布、水桶等工具，清洁剂要依据设备材质与污垢特性挑选。
二、清洁操作要点
1、清洁剂使用规范
依据真空干燥机的材质与污渍类型选择适配的清洁剂。使用时，请严格按照说明书中规定的稀释比例来配制清洁溶液，避免浓度过高可能对设备造成损伤或浓度过低影响清洁效果。应采用适量的清洁剂均匀涂抹或喷洒于待清洁部位，禁止过度使用造成残留，使用后务必冲洗干净。
2、不同部位清洁顺序与手法
按照先内后外、先上后下的顺序进行。先以软布蘸清洁剂轻柔擦拭内部腔壁，对于加热元件周边，要格外谨慎，避免损坏。清理物料托盘，可浸泡刷洗。而后清洁外部机身，用稍硬些的布去除灰尘污渍。像管道连接处等狭小部位，则需借助细长工具裹布深入清理，确保各部位均能有效清洁。
三、冲洗与干燥
在冲洗环节，要用大量清水对真空干燥机进行完全冲洗，确保清洁剂及污垢无残留，尤其注意排水口通畅。干燥时，可先自然风干可拆卸部件，对于机身内部，可开启通风设备辅助，也可用洁净布擦干或低温吹干，务必保证设备完全干燥，防止生锈与细菌滋生。